非晶質シリコン系薄膜の基礎物性と電子写真感光体への応用に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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Table of Contents
目次
p1
第1章 緒論
p1
第2章 非晶質シリコン系薄膜の製作
p7
2-1 緒言
p7
2-2 グロー放電プラズマ
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ヒショウシツ シリコンケイ ハクマク ノ キソ ブッセイ ト デンシ シャシン カンコウタイ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 脇田和樹 [著]
- Author Heading
- 脇田, 和樹 ワキタ, カズキ ( 01157871 )Authorities
- Degree grantor/type
- 大阪府立大学
- Date Granted
- 平成5年3月29日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 乙第728号
- Degree Type
- 博士 (工学)