非晶質シリコン系半導体のキャリア輸送と局在準位に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 非晶質シリコン系半導体のキャリア輸送と局在準位に関する研究
• Title Transcription: ヒショウシツ シリコンケイ ハンドウタイ ノ キャリア ユソウ ト キョクザイ ジュンイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 秋田成司 [著]
• Author Heading: 秋田, 成司 アキタ, セイジ
• Degree grantor/type: 大阪府立大学
• Date Granted: 平成5年3月29日
• Date Granted (W3CDTF): 1993
• Dissertation Number: 乙第729号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-G507
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000259955; http://id.ndl.go.jp/bib/000000259955
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 緒論

第2章 高光感度a-SiC:H薄膜の成膜とプラズマ状態

2-1 緒言

2-2 成膜装置と膜評価法