非晶質シリコン系半導体のキャリア輸送と局在準位に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 緒論
p1
第2章 高光感度a-SiC:H薄膜の成膜とプラズマ状態
p6
2-1 緒言
p6
2-2 成膜装置と膜評価法
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ヒショウシツ シリコンケイ ハンドウタイ ノ キャリア ユソウ ト キョクザイ ジュンイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 秋田成司 [著]
- Author Heading
- 秋田, 成司 アキタ, セイジ
- Degree grantor/type
- 大阪府立大学
- Date Granted
- 平成5年3月29日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 乙第729号
- Degree Type
- 博士 (工学)