シリコンウェハの鏡面研磨における形状精度に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
記号の説明
p5
第1章 緒論
p1
第1.1節 動機と目的
p1
第1.2節 研磨加工の研究動向
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シリコン ウェハ ノ キョウメン ケンマ ニ オケル ケイジョウ セイド ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 赤松潔 [著]
- Author Heading
- 赤松, 潔 アカマツ, キヨシ
- Degree grantor/type
- 埼玉大学
- Date Granted
- 平成5年3月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 甲第43号
- Degree Type
- 博士 (工学)