エキシマレーザ再結晶化シリコン膜の薄膜トランジスタ応用に関する研究
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Table of Contents
論文目録
目次
p1
1 序論
p4
1.1 はじめに
p4
1.2 液晶ディスプレイの現状
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- エキシマ レーザ サイケッショウカ シリコンマク ノ ハクマク トランジスタ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 清水和裕 [著]
- Author Heading
- 清水, 和裕 シミズ, カズヒロ
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成5年3月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 甲第2606号
- Degree Type
- 博士 (工学)