対向ターゲット式スパッタ法による垂直磁気フレキシブル媒体の作製技術と記録特性に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 対向ターゲット式スパッタ法による垂直磁気フレキシブル媒体の作製技術と記録特性に関する研究
• Title Transcription: タイコウ ターゲットシキ スパッタホウ ニ ヨル スイチョク ジキ フレキシブル バイタイ ノ サクセイ ギジュツ ト キロク トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 門倉貞夫 [著]
• Author Heading: 門倉, 貞夫 カドクラ, サダオ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成4年9月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 乙第2390号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-L307
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000261369; http://id.ndl.go.jp/bib/000000261369
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

目次

第1章 緒論

第2章 スパッタプラズマ特性と薄膜微細構造の関係

2.1 スパッタ法による薄膜形成技術