急速熱酸化技術を用いる極薄酸化膜形成に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 MOSLSIの超高集積化における極薄ゲート酸化膜の役割と課題
p1
1.2 本研究の目的
p10
1.3 本論文の概要
p11
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- キュウソク ネツ サンカ ギジュツ オ モチイル ゴクウス サンカマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 福田永 [著]
- Author Heading
- 福田, 永 フクダ, ヒサシ
- Degree grantor/type
- 早稲田大学
- Date Granted
- 平成5年3月4日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 乙第961号
- Degree Type
- 博士 (工学)