アフターグロー法で形成したa-SiNx:H膜の内部応力発生と制御

• Material Type: 博士論文
• Title: アフターグロー法で形成したa-SiNx:H膜の内部応力発生と制御
• Title Transcription: アフターグローホウ デ ケイセイシタ a-SiNx : Hマク ノ ナイブ オウリョク ハッセイ ト セイギョ
• Author/Editor: 永吉浩 [著]
• Author Heading: 永吉, 浩, 1961- ナガヨシ, ヒロシ, 1961- ( 00877518 )Authorities
• Degree grantor/type: 東京農工大学
• Date Granted: 平成5年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1993
• Dissertation Number: 甲第50号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-M225
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000261806; http://id.ndl.go.jp/bib/000000261806
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1-1 本研究の歴史的背景(応力に関する従来の研究)

1-2 本研究の目的と概要

第2章 各種成膜法によるa-SiNx:H膜の堆積と膜質の比較