アフターグロー法で形成したa-SiNx:H膜の内部応力発生と制御
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1-1 本研究の歴史的背景(応力に関する従来の研究)
p1
1-2 本研究の目的と概要
p4
第2章 各種成膜法によるa-SiNx:H膜の堆積と膜質の比較
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- アフターグローホウ デ ケイセイシタ a-SiNx : Hマク ノ ナイブ オウリョク ハッセイ ト セイギョ
- Author/Editor
- 永吉浩 [著]
- Author Heading
- 永吉, 浩, 1961- ナガヨシ, ヒロシ, 1961- ( 00877518 )Authorities
- Degree grantor/type
- 東京農工大学
- Date Granted
- 平成5年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 甲第50号
- Degree Type
- 博士 (工学)