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博士論文

軸対称磁界印加引上げ法によるシリコン単結晶育成技術に関する研究

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軸対称磁界印加引上げ法によるシリコン単結晶育成技術に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-93-P183
Bibliographic ID of National Diet Library
000000262291
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3069174
Material type
博士論文
Author
平田洋 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p1

  • 第1編 序論

    p1

  • 1.1 本研究の背景

    p1

  • 1.2 本研究の目的と意義

    p4

  • 1.3 本論文の構成と展開

    p5

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
軸対称磁界印加引上げ法によるシリコン単結晶育成技術に関する研究
Title Transcription
ジク タイショウ ジカイ インカ ヒキアゲホウ ニ ヨル シリコン タンケッショウ イクセイ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
平田洋 [著]
Author Heading
平田, 洋 ヒラタ, ヒロシ
Degree grantor/type
東京大学
Date Granted
平成3年9月18日
Date Granted (W3CDTF)
1991
Dissertation Number
乙第10333号
Degree Type
博士 (工学)