レーザ照射を利用したSOI構造形成技術とその3次元デバイスへの応用に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: レーザ照射を利用したSOI構造形成技術とその3次元デバイスへの応用に関する研究
• Title Transcription: レーザ ショウシャ オ リヨウシタ SOI コウゾウ ケイセイ ギジュツ ト ソノ 3ジゲン デバイス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 大倉理 [著]
• Author Heading: 大倉, 理 オオクラ, マコト
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成3年9月18日
• Date Granted (W3CDTF): 1991
• Dissertation Number: 乙第10336号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-P186
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000262294; http://id.ndl.go.jp/bib/000000262294
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景

1.2 SOI構造形成技術の概説と本研究の意義

1.3 研究の目的と論文の構成