GaAs及びAlGaAsのドライエッチングに関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1･1節 本研究の目的と背景
p1
1･2節 ドライエッチングの概要
p3
1･3節 本研究の課題
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- GaAs オヨビ AlGaAs ノ ドライ エッチング ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 浅川潔 [著]
- Author Heading
- 浅川, 潔 アサカワ, キヨシ
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 平成4年1月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1992
- Dissertation Number
- 乙第10499号
- Degree Type
- 博士 (工学)