有機金属化学気相成長(MOCVD)法によるAlGaAsエピタキシャル成長とそのヘテロ構造素子への応用に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 有機金属化学気相成長(MOCVD)法によるAlGaAsエピタキシャル成長とそのヘテロ構造素子への応用に関する研究
• Title Transcription: ユウキ キンゾク カガク キソウ セイチョウ (MOCVD) ホウ ニ ヨル AlGaAs エピタキシャル セイチョウ ト ソノ ヘテロ コウゾウ ソシ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 森芳文 [著]
• Author Heading: 森, 芳文 モリ, ヨシフミ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成4年2月13日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 乙第10561号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-P411
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000262519; http://id.ndl.go.jp/bib/000000262519
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景

1.2 原料の性質

1.3 MOCVD法の概要