薄板電子材料の高精度平面研磨に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 緒論
p1
第1.1節 研究の動機,目的
p1
第1.2節 平面研磨の高精度化に影響を及ぼす加工要因
p6
第1.3節 研究目標と研究成果の概要
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title
- Title Transcription
- ウスイタ デンシ ザイリョウ ノ コウセイド ヘイメン ケンマ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 中村孝雄 [著]
- Author Heading
- 中村, 孝雄 ナカムラ, タカオ
- Degree grantor/type
- 中部大学
- Date Granted
- 平成5年9月30日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 乙第10号
- Degree Type
- 博士 (工学)