低圧OMVPE法およびMBE法によるGaAs系エピタキシャル成長に関する研究
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Table of Contents
[目次]
第1章 序論
p1
1-1 本研究の背景
p1
1-2 エピタキシャル成長技術
p2
1-3 本研究の意義と論文の構成
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- テイアツ OMVPEホウ オヨビ MBEホウ ニ ヨル GaAsケイ エピタキシャル セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 高岸成典 [著]
- Author Heading
- 高岸, 成典 タカギシ, シゲノリ
- Degree grantor/type
- 名古屋工業大学
- Date Granted
- 平成5年9月9日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 乙第52号
- Degree Type
- 博士 (工学)