A study of an injection controlled high power XeF(C→A) excimer laser

• Material Type: 博士論文
• Title: A study of an injection controlled high power XeF(C→A) excimer laser
• Author/Editor: 山口滋 [著]
• Author Heading: 山口, 滋 ヤマグチ, シゲル
• Alternative Title: 注入制御型高出力XeF(C→A)エキシマレーザに関する研究 チュウニュウ セイギョガタ コウシュツリョク XeF (C A) エキシマ レーザ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 慶應義塾大学
• Date Granted: 平成5年9月14日
• Date Granted (W3CDTF): 1993
• Dissertation Number: 乙第2638号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-T528
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000265250; http://id.ndl.go.jp/bib/000000265250
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

Contents

Chapter1 Introduction

1.1.Historical background of excimer lasers

1.2.XeF(C→A) excimer laser system