Fundamental studies on the structural control of smart ceramics thin films

• Material Type: 博士論文
• Title: Fundamental studies on the structural control of smart ceramics thin films
• Author/Editor: 藤村紀文 [著]
• Author Heading: 藤村, 紀文 フジムラ, ノリフミ
• Alternative Title: 機能性セラミックス薄膜の組織制御に関する基礎研究 キノウセイ セラミックス ハクマク ノ ソシキ セイギョ ニ カンスル キソ ケンキュウ
• Degree grantor/type: 大阪府立大学
• Date Granted: 平成5年10月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1993
• Dissertation Number: 乙第742号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-U449
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000265705; http://id.ndl.go.jp/bib/000000265705
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

1. General Introduction

2. The Structural Control of Non-Stoichiometric Thin Films

2-1 TiSi₂ formation at the Ti-rich [化学式]/Si interface

2-2 Characterization of Si-rich WSi₂.₆ on Si