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博士論文

薄膜SOI MOSFETの高速・低消費電力LSIへの応用に関する研究

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薄膜SOI MOSFETの高速・低消費電力LSIへの応用に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-94-A360
Bibliographic ID of National Diet Library
000000267303
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3072910
Material type
博士論文
Author
山口泰男 [著]
Publisher
-
Date granted
平成5年11月30日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
大阪大学,博士 (工学)
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Note (General):

博士論文

Table of Contents

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  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1-1 研究の背景

    p1

  • 1-2 薄膜SOI MOSFETの特徴

    p2

  • 1-3 SIMOX法による薄膜SOI基板形成技術

    p4

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
ハクマク SOI MOSFET ノ コウソク テイ ショウヒ デンリョク LSI エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
山口泰男 [著]
Author Heading
山口, 泰男 ヤマグチ, ヤスオ
Degree Grantor
大阪大学
Date Granted
平成5年11月30日
Date Granted (W3CDTF)
1993
Dissertation Number
乙第6109号
Degree Type
博士 (工学)