薄膜SOI MOSFETの高速・低消費電力LSIへの応用に関する研究
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目次
第1章 序論
p1
1-1 研究の背景
p1
1-2 薄膜SOI MOSFETの特徴
p2
1-3 SIMOX法による薄膜SOI基板形成技術
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハクマク SOI MOSFET ノ コウソク テイ ショウヒ デンリョク LSI エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 山口泰男 [著]
- Author Heading
- 山口, 泰男 ヤマグチ, ヤスオ
- Degree Grantor
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成5年11月30日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 乙第6109号
- Degree Type
- 博士 (工学)