博士論文

ICTS法によるMOSデバイスの界面準位の評価に関する研究

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国立国会図書館デジタルコレクション

ICTS法によるMOSデバイスの界面準位の評価に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-94-D3
Bibliographic ID of National Diet Library
000000267946
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3073473
Material type
博士論文
Author
吉田晴彦 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
姫路工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

  • 目次

    p3

  • 第1章 序論

    p1

  • 第2章 等温容量過渡分光法(ICTS)の原理

    p6

  • 2.1 緒言

    p6

  • 2.2 半導体の深い準位でのキャリアの捕獲と放出

    p7

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
ICTS法によるMOSデバイスの界面準位の評価に関する研究
Title Transcription
ICTSホウ ニ ヨル MOS デバイス ノ カイメン ジュンイ ノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
吉田晴彦 [著]
Author Heading
吉田, 晴彦 ヨシダ, ハルヒコ
Degree grantor/type
姫路工業大学
Date Granted
平成6年3月24日
Date Granted (W3CDTF)
1994
Dissertation Number
甲第21号
Degree Type
博士 (工学)