Si表面水素のイオンビーム定量ならびに薄膜形成に及ぼす影響に関する研究

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Si表面水素のイオンビーム定量ならびに薄膜形成に及ぼす影響に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: Si表面水素のイオンビーム定量ならびに薄膜形成に及ぼす影響に関する研究
Title Transcription: Si ヒョウメンスイソノイオンビームテイリョウナラビニハクマクケイセイニオヨボスエイキョウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 内藤正路 [著]
Author Heading: 内藤, 正路ナイトウ, マサミチ
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 平成6年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 1994
Dissertation Number: 甲第5059号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-94-G186
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000270158
http://id.ndl.go.jp/bib/000000270158
Bibliographic Record Category (NDL): 213