二次イオン質量分析法および単色化X線光電子分光法による絶縁体の表面分析に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 二次イオン質量分析法および単色化X線光電子分光法による絶縁体の表面分析に関する研究
• Title Transcription: ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ オヨビ タンショクカ Xセン コウデンシ ブンコウホウ ニ ヨル ゼツエンタイ ノ ヒョウメン ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 富塚仁 [著]
• Author Heading: 富塚, 仁 トミズカ, ヒトシ
• Degree grantor/type: 室蘭工業大学
• Date Granted: 平成6年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 1994
• Dissertation Number: 甲第31号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-94-L15
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000271988; http://id.ndl.go.jp/bib/000000271988
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第I章 序論

1.はじめに

2.SIMS分析法の原理と問題点

3.XPS分析法の原理と問題点