エキシマーレーザーCVD法による金属カルボニルからの耐蝕性薄膜形成
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Table of Contents
目次
第1章 序
1 金属表面処理技術の最近の動向
p2
2 レーザーCVD法による薄膜形成
p3
3 カルボニル金属(Cr(CO)₆,Mo(CO)₆)の基本的性質および成膜への応用
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- エキシマー レーザー CVDホウ ニ ヨル キンゾク カルボニル カラ ノ タイショクセイ ハクマク ケイセイ
- Author/Editor
- 岡田直忠 [著]
- Author Heading
- 岡田, 直忠 オカダ, ナオタダ
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 平成5年3月29日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 甲第10013号
- Degree Type
- 博士 (工学)