エキシマーレーザーCVD法による金属カルボニルからの耐蝕性薄膜形成

• Material Type: 博士論文
• Title: エキシマーレーザーCVD法による金属カルボニルからの耐蝕性薄膜形成
• Title Transcription: エキシマー レーザー CVDホウ ニ ヨル キンゾク カルボニル カラ ノ タイショクセイ ハクマク ケイセイ
• Author/Editor: 岡田直忠 [著]
• Author Heading: 岡田, 直忠 オカダ, ナオタダ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成5年3月29日
• Date Granted (W3CDTF): 1993
• Dissertation Number: 甲第10013号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-94-N343
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000273333; http://id.ndl.go.jp/bib/000000273333
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序

1 金属表面処理技術の最近の動向

2 レーザーCVD法による薄膜形成

3 カルボニル金属(Cr(CO)₆,Mo(CO)₆)の基本的性質および成膜への応用