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博士論文

空気潤滑超精密位置決め機構とそのX線露光装置への応用

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国立国会図書館デジタルコレクション

空気潤滑超精密位置決め機構とそのX線露光装置への応用

Call No. (NDL)
UT51-94-P6
Bibliographic ID of National Diet Library
000000273518
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3077052
Material type
博士論文
Author
石原直 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 目次

  • 第1章 序論

    p2

  • 第1.1節 本研究の背景と動機

    p2

  • 第1.2節 本研究の目的と意義

    p5

  • 第1.3節 本研究の概要

    p6

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
空気潤滑超精密位置決め機構とそのX線露光装置への応用
Title Transcription
クウキ ジュンカツ チョウセイミツ イチギメ キコウ ト ソノ Xセン ロコウ ソウチ エ ノ オウヨウ
Author/Editor
石原直 [著]
Author Heading
石原, 直, 1948- イシハラ, スナオ, 1948- ( 00988843 )Authorities
Degree grantor/type
東京大学
Date Granted
平成4年4月10日
Date Granted (W3CDTF)
1992
Dissertation Number
乙第10667号
Degree Type
博士 (工学)