Distribution of interstitial oxygen along the growth axis of silicon single crystal grown by Czochralski method in a transverse magnetic field with superconducting magnet

• Material Type: 博士論文
• Title: Distribution of interstitial oxygen along the growth axis of silicon single crystal grown by Czochralski method in a transverse magnetic field with superconducting magnet
• Author/Editor: 高橋捷一 [著]
• Author Heading: 高橋, 捷一 タカハシ, ショウイチ
• Alternative Title: 超伝導磁石を用いた水平方向磁界下でのチョクラルスキー法育成シリコン単結晶中の格子間酸素の成長軸方向分布について チョウデンドウ ジシャク オ モチイタ スイヘイ ホウコウ ジカイカ デ ノ チョクラルスキーホウ イクセイ シリコン タンケッショウチュウ ノ コウシカン サンソ ノ セイチョウジク ホウコウ ブンプ ニ ツイテ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成5年3月15日
• Date Granted (W3CDTF): 1993
• Dissertation Number: 乙第11156号
• Degree Type: 博士 (理学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-94-P494
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000274006; http://id.ndl.go.jp/bib/000000274006
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

ABSTRACT

CONTENTS

1.INTRODUCTION

2.TRANSVERSE MAGNETIC FIELD CZOCHRALSKI METHOD USING A SUPERCONDUCTIVE MAGNET(S-TMCZ)

3.BASE OF CRYSTAL PREPARATION FOR ANALYSES