Force and position measurements of micromachines by atomic force microscopy

• Material Type: 博士論文
• Title: Force and position measurements of micromachines by atomic force microscopy
• Author/Editor: 鳥井昭宏 [著]
• Author Heading: 鳥井, 昭宏 トリイ, アキヒロ
• Alternative Title: 原子間力顕微法によるマイクロマシンの力と位置の計測に関する研究 ゲンシカンリョク ケンビホウ ニ ヨル マイクロマシン ノ チカラ ト イチ ノ ケイソク ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成6年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1994
• Dissertation Number: 甲第2965号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-94-R84
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000274641; http://id.ndl.go.jp/bib/000000274641
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

1 Introduction

1.1 History of Micromachines

1.2 Surface Micromachining

1.3 Problems in Surface Micromachining