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博士論文

微粒子沈着CVD法によるジルコニア膜の合成

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微粒子沈着CVD法によるジルコニア膜の合成

Call No. (NDL)
UT51-94-U25
Bibliographic ID of National Diet Library
000000276086
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3096936
Material type
博士論文
Author
中村静夫 [著]
Publisher
-
Date granted
平成5年9月30日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
金沢大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

  • 序論

    p1

  • 1 本研究の目的と意義

    p1

  • 2 PPCVDに関する既往の研究

    p5

  • 3 ジルコニアの物性

    p7

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
微粒子沈着CVD法によるジルコニア膜の合成
Title Transcription
ビリュウシ チンチャク CVDホウ ニ ヨル ジルコニアマク ノ ゴウセイ
Author/Editor
中村静夫 [著]
Author Heading
中村, 静夫 ナカムラ, シズオ
Degree Grantor
金沢大学
Date Granted
平成5年9月30日
Date Granted (W3CDTF)
1993
Dissertation Number
甲第1193号
Degree Type
博士 (工学)