LSIプロセスにおけるダウンフローエッチングの研究

• Material Type: 博士論文
• Title: LSIプロセスにおけるダウンフローエッチングの研究
• Title Transcription: LSI プロセス ニ オケル ダウンフロー エッチング ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 矢野弘 [著]
• Author Heading: 矢野, 弘 ヤノ, ヒロシ
• Degree grantor/type: 神戸大学
• Date Granted: 平成6年3月16日
• Date Granted (W3CDTF): 1994
• Dissertation Number: 乙第1804号
• Degree Type: 博士 (学術)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-94-U327
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000276388; http://id.ndl.go.jp/bib/000000276388
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

〔目次〕

I)序論

(1)背景

(2)微細加工技術の流れ

(3)ダウンフローエッチングの必要性