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博士論文

半導体・液晶製造プロセスにおける静電気障害と静電気除去に関する研究

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半導体・液晶製造プロセスにおける静電気障害と静電気除去に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-94-X109
Bibliographic ID of National Diet Library
000000277847
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3079156
Material type
博士論文
Author
稲葉仁 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東北大学,博士 (工学)
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  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 第2章 静電気発生とその障害

    p3

  • 2-1 静電気発生メカニズム

    p3

  • 2-2 静電気発生の実態

    p4

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
半導体・液晶製造プロセスにおける静電気障害と静電気除去に関する研究
Title Transcription
ハンドウタイ エキショウ セイゾウ プロセス ニ オケル セイデンキ ショウガイ ト セイデンキ ジョキョ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
稲葉仁 [著]
Author Heading
稲葉, 仁 イナバ, ヒトシ
Degree grantor/type
東北大学
Date Granted
平成6年5月11日
Date Granted (W3CDTF)
1994
Dissertation Number
乙第6407号
Degree Type
博士 (工学)