マイクロシステムのための三次元微細加工に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: マイクロシステムのための三次元微細加工に関する研究
• Title Transcription: マイクロ システム ノ タメ ノ サンジゲン ビサイ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 南和幸 [著]
• Author Heading: 南, 和幸 ミナミ, カズユキ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成6年7月13日
• Date Granted (W3CDTF): 1994
• Dissertation Number: 乙第6433号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-94-X135
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000277873; http://id.ndl.go.jp/bib/000000277873
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 緒論

参考文献

第2章 マイクロシステム製作における従来の微細加工技術の限界

2-1 マイクロシステムと微細加工技術に関する従来の研究