マイクロシステムのための三次元微細加工に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 緒論
p1
参考文献
p2
第2章 マイクロシステム製作における従来の微細加工技術の限界
p3
2-1 マイクロシステムと微細加工技術に関する従来の研究
p3
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- マイクロ システム ノ タメ ノ サンジゲン ビサイ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 南和幸 [著]
- Author Heading
- 南, 和幸 ミナミ, カズユキ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成6年7月13日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1994
- Dissertation Number
- 乙第6433号
- Degree Type
- 博士 (工学)