大面積スパッタリング用マルチターゲット型マグネトロンプラズマに関する研究
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Table of Contents
【目次】
まえがき
p1
第1章 序論
p2
第2章 大面積マグネトロンスパッタリングのための装置の提案
p5
2.1 マグネトロン放電の原理
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ダイメンセキ スパッタリングヨウ マルチターゲットガタ マグネトロン プラズマ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 桒原清 [著]
- Author Heading
- 桒原, 清 クワハラ, キヨシ
- Degree grantor/type
- 長崎大学
- Date Granted
- 平成6年3月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1994
- Dissertation Number
- 甲第74号
- Degree Type
- 博士 (工学)