陽電子消滅法によるシリコン中の格子欠陥の研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 半導体中の格子欠陥
p1
1.2 陽電子と格子欠陥の相互作用
p3
1.3 Si中の照射誘起欠陥の研究
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ヨウデンシ ショウメツホウ ニ ヨル シリコンチュウ ノ コウシ ケッカン ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 河裾厚男 [著]
- Author Heading
- 河裾, 厚男 カワスソ, アツオ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成7年3月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1995
- Dissertation Number
- 甲第5194号
- Degree Type
- 博士 (理学)