ULSI多層配線に関する研究

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国立国会図書館デジタルコレクション

ULSI多層配線に関する研究

Call No. (NDL): UT51-95-C260
Bibliographic ID of National Diet Library: 000000280903
Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3099312

Material type: 博士論文

Author: 大場隆之 [著]

Publisher: -

Publication date: -

Material Format: Paper・Digital

Capacity, size, etc.: -

Name of awarding university/degree: 東北大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

目次
p1
第1章序論
p1
1-1 本研究の背景と開発の意義
p1
1-2 本論文の構成
p3
第2章多層配線の諸問題の整理
p5

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Paper Digital

Material Type: 博士論文
Title: ULSI多層配線に関する研究
Title Transcription: ULSI タソウハイセンニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 大場隆之 [著]
Author Heading: 大場, 隆之オオバ, タカユキ ( 01211151 )Authorities
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成7年3月24日
Date Granted (W3CDTF): 1995
Dissertation Number: 甲第5352号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-95-C260
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000280903
http://id.ndl.go.jp/bib/000000280903
Bibliographic Record Category (NDL): 213