電子/光学デバイス用バルク単結晶CZ育成過程に生じる熱応力と欠陥との関係
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- デンシ / コウガク デバイスヨウ バルク タンケッショウ CZ イクセイ カテイ ニ ショウジル ネツ オウリョク ト ケッカン ト ノ カンケイ
- Author/Editor
- 内田仁 [著]
- Author Heading
- 内田, 仁 ウチダ, ヒトシ
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 平成7年3月27日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1995
- Dissertation Number
- 甲第3516号
- Degree Type
- 博士 (工学)