酸化物薄膜の熱CVDに関する反応工学的研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 酸化物薄膜の熱CVDに関する反応工学的研究
• Title Transcription: サンカブツ ハクマク ノ ネツ CVD ニ カンスル ハンノウ コウガクテキ ケンキュウ
• Author/Editor: 鄭相鐵 [著]
• Author Heading: 鄭, 相鐵 ジョン, サンチョル
• Degree grantor/type: 九州大学
• Date Granted: 平成7年3月27日
• Date Granted (W3CDTF): 1995
• Dissertation Number: 甲第3564号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Alias of Author: Jung, Sang-chul
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-E359
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000282004; http://id.ndl.go.jp/bib/000000282004
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 緒論

1.1 本研究の背景および目的

1.2 LiNbO₃およびZnOに関する既往の研究

1.3 CVDモデリングに関する既往の研究