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博士論文

デジタルエッチング法の開発とその反応機構に関する研究

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デジタルエッチング法の開発とその反応機構に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-95-G338
Bibliographic ID of National Diet Library
000000282988
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3081475
Material type
博士論文
Author
石井真史 [著]
Publisher
-
Date granted
平成7年3月23日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
大阪大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p3

  • 第1章 序論

    p1

  • 1-1 半導体微細加工技術の現状

    p1

  • 1-2 従来のエッチング法の問題点

    p2

  • 1-3 本論文の目的

    p4

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
デジタルエッチング法の開発とその反応機構に関する研究
Title Transcription
デジタル エッチングホウ ノ カイハツ ト ソノ ハンノウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
石井真史 [著]
Author Heading
石井, 真史 イシイ, マサシ
Degree Grantor
大阪大学
Date Granted
平成7年3月23日
Date Granted (W3CDTF)
1995
Dissertation Number
甲第5333号
Degree Type
博士 (工学)