スパッタリング法によるa-Si系薄膜・超格子薄膜の構造と光・電気特性に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: スパッタリング法によるa-Si系薄膜・超格子薄膜の構造と光・電気特性に関する研究
• Title Transcription: スパッタリングホウ ニ ヨル a-Siケイ ハクマク チョウコウシ ハクマク ノ コウゾウ ト ヒカリ デンキ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 須崎嘉文 [著]
• Author Heading: 須崎, 嘉文 スザキ, ヨシフミ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成7年2月21日
• Date Granted (W3CDTF): 1995
• Dissertation Number: 乙第6553号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-G447
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000283097; http://id.ndl.go.jp/bib/000000283097
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

1 序論

2 a-Si:H薄膜の構造および光･電気特性

2.1 諸言

2.2 実験方法