走査型力顕微鏡のための圧電薄膜微小力センサープローブの開発
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目次
第1章 本研究の背景と目的
p1
1.1 本研究の背景
p2
1.2 本研究の課題
p23
1.3 本論文の構成
p24
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ソウサガタリョク ケンビキョウ ノ タメ ノ アツデン ハクマク ビショウリョク センサー プローブ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 伊藤寿浩 [著]
- Author Heading
- 伊藤, 寿浩 イトウ, トシヒロ ( 01167378 )Authorities
- Degree Grantor
- 東京大学
- Date Granted
- 平成6年1月27日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1994
- Dissertation Number
- 甲第10295号
- Degree Type
- 博士 (工学)