高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究
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Table of Contents
目次
第一章 序論
p1
1.1 目的と意義
p1
1.2 背景
p2
1.3 本研究の概要
p10
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- コウシュウハ スパッタリングホウ ニ ヨル ニリュウカ モリブデンマク ノ ジュンカツ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 西村允 [著]
- Author Heading
- 西村, 允 ニシムラ, マコト
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 平成5年9月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 乙第11412号
- Degree Type
- 博士 (工学)