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博士論文

高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究

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高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-95-J206
Bibliographic ID of National Diet Library
000000283906
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3082076
Material type
博士論文
Author
西村允 [著]
Publisher
-
Date granted
平成5年9月24日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
東京大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

  • 第一章 序論

    p1

  • 1.1 目的と意義

    p1

  • 1.2 背景

    p2

  • 1.3 本研究の概要

    p10

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究
Title Transcription
コウシュウハ スパッタリングホウ ニ ヨル ニリュウカ モリブデンマク ノ ジュンカツ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
西村允 [著]
Author Heading
西村, 允 ニシムラ, マコト
Degree Grantor
東京大学
Date Granted
平成5年9月24日
Date Granted (W3CDTF)
1993
Dissertation Number
乙第11412号
Degree Type
博士 (工学)