融液成長したシリコン単結晶における成長欠陥分布形状形成機構の研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 融液成長したシリコン単結晶における成長欠陥分布形状形成機構の研究
• Title Transcription: ユウエキ セイチョウシタ シリコン タンケッショウ ニ オケル セイチョウ ケッカン ブンプ ケイジョウ ケイセイ キコウ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 冨浦梓 [著]
• Author Heading: 冨浦, 梓 トミウラ, アズサ ( 00960679 )Authorities
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成5年9月24日
• Date Granted (W3CDTF): 1993
• Dissertation Number: 乙第11420号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-J214
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000283914; http://id.ndl.go.jp/bib/000000283914
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

1章 序論.

§1.1 はじめに.

§1.2 シリコン単結晶の成長欠陥.

§1.3 成長欠陥の特徴と生成機構.