博士論文

シリコンULSIのための薄膜微細配線及び電極に関する研究

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国立国会図書館デジタルコレクション

シリコンULSIのための薄膜微細配線及び電極に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-95-K482
Bibliographic ID of National Diet Library
000000284715
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3082451
Material type
博士論文
Author
柴田英毅 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
名古屋工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 はじめに

    p1

  • 1.2 本研究の目的

    p9

  • 1.3 本論文の構成と概要

    p9

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
シリコンULSIのための薄膜微細配線及び電極に関する研究
Title Transcription
シリコン ULSI ノ タメ ノ ハクマク ビサイ ハイセン オヨビ デンキョク ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
柴田英毅 [著]
Author Heading
柴田, 英毅 シバタ, ヒデキ
Degree grantor/type
名古屋工業大学
Date Granted
平成7年3月16日
Date Granted (W3CDTF)
1995
Dissertation Number
乙第80号
Degree Type
博士 (工学)