シリコンULSIのための薄膜微細配線及び電極に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: シリコンULSIのための薄膜微細配線及び電極に関する研究
• Title Transcription: シリコン ULSI ノ タメ ノ ハクマク ビサイ ハイセン オヨビ デンキョク ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 柴田英毅 [著]
• Author Heading: 柴田, 英毅 シバタ, ヒデキ
• Degree grantor/type: 名古屋工業大学
• Date Granted: 平成7年3月16日
• Date Granted (W3CDTF): 1995
• Dissertation Number: 乙第80号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-K482
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000284715; http://id.ndl.go.jp/bib/000000284715
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 本研究の目的

1.3 本論文の構成と概要