SOI(Silicon-on-Insulator)構造を用いた高性能機械量センサに関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: SOI(Silicon-on-Insulator)構造を用いた高性能機械量センサに関する研究
• Title Transcription: SOI (Silicon - on - Insulator) コウゾウ オ モチイタ コウセイノウ キカイリョウ センサ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 李榮泰 [著]
• Author Heading: 李, 榮泰 イー, ヨンテ
• Degree grantor/type: 豊橋技術科学大学
• Date Granted: 平成7年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 1995
• Dissertation Number: 甲第126号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-M59
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000285296; http://id.ndl.go.jp/bib/000000285296
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文要旨

目次

第1章 序論

1.1 本研究の背景と目的

1.2 研究の概要