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博士論文

マグネトロンスパッタリングによるジルコン酸チタン酸鉛薄膜の形成に関する研究

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マグネトロンスパッタリングによるジルコン酸チタン酸鉛薄膜の形成に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-95-N21
Bibliographic ID of National Diet Library
000000285767
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3102056
Material type
博士論文
Author
藤澤晃 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
信州大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 目次

    p1

  • 第1章 緒言

    p1

  • 1.1 研究の背景と目的

    p1

  • 1.2 本論文の概要

    p3

  • 参考文献

    p3

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
マグネトロンスパッタリングによるジルコン酸チタン酸鉛薄膜の形成に関する研究
Title Transcription
マグネトロン スパッタリング ニ ヨル ジルコンサン チタンサン ナマリ ハクマク ノ ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
藤澤晃 [著]
Author Heading
藤澤, 晃 フジサワ, アキラ
Degree grantor/type
信州大学
Date Granted
平成7年3月20日
Date Granted (W3CDTF)
1995
Dissertation Number
甲第55号
Degree Type
博士 (工学)