シリコン半導体に於ける高集積度素子分離特性の基板結晶性による制御に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: シリコン半導体に於ける高集積度素子分離特性の基板結晶性による制御に関する研究
• Title Transcription: シリコン ハンドウタイ ニ オケル コウシュウセキド ソシ ブンリ トクセイ ノ キバン ケッショウセイ ニ ヨル セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 石神俊一郎 [著]
• Author Heading: 石神, 俊一郎 イシガミ, シュンイチロウ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成7年5月23日
• Date Granted (W3CDTF): 1995
• Dissertation Number: 乙第8929号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-P420
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000286668; http://id.ndl.go.jp/bib/000000286668
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

〈目次>

第1章 緒言

1.1 概論

1.2 本論文の構成