塩化物法によるGaAs,AlAsの気相エピタキシャル成長に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
第2章 研究の背景と目的
p3
2-1 塩化物輸送法の歴史
p4
2-2 塩化物輸送法の現状と課題
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- エンカブツホウ ニ ヨル GaAs , AlAs ノ キソウ エピタキシャル セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 小林隆二 [著]
- Author Heading
- 小林, 隆二 コバヤシ, リュウジ
- Degree grantor/type
- 筑波大学
- Date Granted
- 平成5年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 甲第1106号
- Degree Type
- 博士 (工学)