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博士論文

シリコンの水素プラズマスパッタリングに関する研究

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シリコンの水素プラズマスパッタリングに関する研究

Call No. (NDL)
UT51-95-R96
Bibliographic ID of National Diet Library
000000287410
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3083285
Material type
博士論文
Author
孫勇 [著]
Publisher
-
Date granted
平成7年3月24日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
九州工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 第2章 実験装置及び方法

    p5

  • 2.1 作製装置

    p5

  • 2.2 分析装置

    p6

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
シリコンの水素プラズマスパッタリングに関する研究
Title Transcription
シリコン ノ スイソ プラズマ スパッタリング ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
孫勇 [著]
Author Heading
孫, 勇 スン, ユン
Degree Grantor
九州工業大学
Date Granted
平成7年3月24日
Date Granted (W3CDTF)
1995
Dissertation Number
乙第34号
Degree Type
博士 (工学)