Optical and electrical properties in polycrystalline silicon films fabricated by a layer-by-layer technique

• Material Type: 博士論文
• Title: Optical and electrical properties in polycrystalline silicon films fabricated by a layer-by-layer technique
• Author/Editor: 賀徳衍 [著]
• Author Heading: 賀, 徳衍 ガ, トクエン
• Alternative Title: Layer-by-Layer法による多結晶シリコン薄膜の光学特性と電気特性 Layer - by - Layerホウ ニ ヨル タケッショウ シリコン ハクマク ノ コウガク トクセイ ト デンキ トクセイ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成7年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 1995
• Dissertation Number: 甲第3012号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Alias of Author: He, De-yan
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-T439
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000288963; http://id.ndl.go.jp/bib/000000288963
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

Contents

Abstract in Japanese

Chapter1 Background,motives and purposes of this study―An introduction

1.1 Low-temperature preparation techniques of polycrystalline silicon films