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博士論文

超LSI用光リソグラフィの高解像度化に関する研究

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超LSI用光リソグラフィの高解像度化に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-95-T500
Bibliographic ID of National Diet Library
000000289024
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3083649
Material type
博士論文
Author
福田宏 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京工業大学,博士 (工学)
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Notes on use

Note (General):

博士論文

Table of Contents

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  • 論文目録

  • 要旨

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 大規模集積回路と素子の微細化

    p1

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
チョウLSIヨウ ヒカリ リソグラフィ ノ コウカイゾウドカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
福田宏 [著]
Author Heading
福田, 宏 フクタ, ヒロシ ( 00407716 )Authorities
Degree grantor/type
東京工業大学
Date Granted
平成6年5月31日
Date Granted (W3CDTF)
1994
Dissertation Number
乙第2630号
Degree Type
博士 (工学)