光リソグラフィ技術による微細加工に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 光リソグラフィ技術による微細加工に関する研究
• Title Transcription: ヒカリ リソグラフィ ギジュツ ニ ヨル ビサイ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 笹子勝 [著]
• Author Heading: 笹子, 勝 ササコ, マサル
• Degree grantor/type: 神戸大学
• Date Granted: 平成6年9月21日
• Date Granted (W3CDTF): 1994
• Dissertation Number: 乙第1866号
• Degree Type: 博士 (学術)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-95-V323
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000290086; http://id.ndl.go.jp/bib/000000290086
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 半導体超LSI微細化の要求

1.3 微細加工に関する研究の歴史と現状