マイクロ・スパッタリングの電子デバイス工学への応用に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 本研究の目的及び論文構成
p1
1.2 電子デバイスとしてのダイヤモンド
p7
<参考文献>
p17
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- マイクロ スパッタリング ノ デンシ デバイス コウガク エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 船本宏幸 [著]
- Author Heading
- 船本, 宏幸 フナモト, ヒロユキ
- Degree grantor/type
- 東京理科大学
- Date Granted
- 平成7年3月20日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1995
- Dissertation Number
- 甲第240号
- Degree Type
- 博士 (工学)