化学気相成長法による窒化ホウ素膜作製に関する研究
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Table of Contents
論文要旨
第一章 序論
p1
1.1 まえがき
p1
1.2 本研究の歴史的背景
p1
1.3 本研究の目的
p3
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル チッカ ホウソマク サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 中村勝光 [著]
- Author Heading
- 中村, 勝光 ナカムラ, カツミツ
- Degree grantor/type
- 横浜国立大学
- Date Granted
- 平成8年3月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第98号
- Degree Type
- 博士 (工学)