ヘリコンスパッタリング法による酸化物超伝導薄膜の作成と超伝導アンテナへの応用

• Material Type: 博士論文
• Title: ヘリコンスパッタリング法による酸化物超伝導薄膜の作成と超伝導アンテナへの応用
• Title Transcription: ヘリコン スパッタリングホウ ニ ヨル サンカブツ チョウデンドウ ハクマク ノ サクセイ ト チョウデンドウ アンテナ エ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 中村嘉孝 [著]
• Author Heading: 中村, 嘉孝 ナカムラ, ヨシタカ
• Degree grantor/type: 山形大学
• Date Granted: 平成8年3月31日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 甲第241号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-D335
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000294374; http://id.ndl.go.jp/bib/000000294374
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

(目次)

概要

第1章 序論

第2章 薄膜作製と評価

第1節 薄膜作製の手法