チタン陰極窒素ガス真空アークプラズマにおける励起・電離および蒸着プロセスに関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: チタン陰極窒素ガス真空アークプラズマにおける励起・電離および蒸着プロセスに関する研究
• Title Transcription: チタン インキョク チッソ ガス シンクウ アーク プラズマ ニ オケル レイキ デンリ オヨビ ジョウチャク プロセス ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 榊守 [著]
• Author Heading: 榊, 守 サカキ, マモル
• Degree grantor/type: 豊橋技術科学大学
• Date Granted: 平成8年3月13日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 乙第87号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-96-D385
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000294424; http://id.ndl.go.jp/bib/000000294424
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

要旨

第1章 序論

1.1 本研究の目的と概要

1.2 真空アーク放電の原理

1.3 真空アーク蒸着法の歴史